CVDシステムは給気システム+双温ゾーン管式炉+抽気システムから構成され、最高温度は1200度、1400度、1600度、1700度に達することができ、加熱区間は単温ゾーン、双温ゾーン、三温ゾーンなどであり、限界真空は10-3 Paに達することができ、給気システムは流量調節はプロトン流量計またはフロート流量計であり、混合気路数は、2路、3路、4路、5路を混合することができる。

このCVDシステムは8ウェイガス供給システム+TL 1700-1400双温区管式炉+真空システムからなる

KTL 1700-1400双温区管式炉：1800型ケイ素モリブデン棒とケイ素炭素棒を加熱素子とし、2つの加熱区があり、2層筐体構造と宇電制御計器を採用し、各加熱区は30段のプログラム制御、移相トリガ、制御可能ケイ素制御を行うことができ、炉内はアルミナ多結晶繊維材料を採用し、炉管の両端にステンレスフランジを取り付け、ステンレスフランジにはガスノズル、バルブ、圧力計が取り付けられており、真空引き時の真空度は10-3 Paに達することができ、この炉は横型であり、2つの温度ゾーンは独立に制御、異なる温度を設定することができ、使用が便利で、操作が簡単であり、この炉は温度場の均衡、表面温度が低く、昇降温度の速度が速く、省エネなどの利点があり、大学、科学研究院所、工鉱企業は高温雰囲気焼結、雰囲気還元、CVD実験、真空焼鈍用の理想的な製品を作る。

（1）、シリコンモリブデン棒の熱端粗さD 1は7 mmで、一般メーカーが採用した6 MM、加熱端が太く、曲がりにくく、棒の表面負荷が低く、耐用年数が長い。

（2）、採用したのは熱曲げ技術で、抵抗が均一で、使用寿命が長い

（3）、Lu冷端長210 mm、400 X 300 X 300炉は260で、一般的なメーカーは180 mmを採用し、冷端長炉頂部の温度は低い。

（4）、シリコンモリブデン棒の表面酸化アモルファス膜が緻密であり、シリコンモリブデン棒を比較的に良好に保護することができる。

回路が過電流または漏電した場合、空の会議は自動的に切断される

この雰囲気管式炉可通信インタフェースとソフトウェアを備え、コンピュータを通じてストーブの各パラメータを直接制御することができ、そしてコンピュータからストーブ上のPVとSV温度値と計器の運行状況を観察することができ、ストーブの実際の昇温曲線コンピュータはリアルタイムに描出され、各時刻の温度データを保存することができ、いつでも呼び出すことができる

（1）、真空吸引ろ過成形の良質高純度アルミナ多結晶繊維硬化炉。

（2）、日本技術を用いて成形する。

（3）、炉内材料の熱容量が低く、熱伝導係数が低いため、放熱が少なく、保温がよく、反射率が高い。温度場の均衡。

（4）、炉内アルミナ糸は細く長く、耐温性が高く、熱膨張と冷縮に強い

（5）、炉の表面がつやつやしていて、粉が落ちにくい。

（すべてUL認証を取得した輸入機器）

1、位相シフトトリガ（ソフトスタートと電流制限機能付き）

2、電流制限機能：どのように昇温速度を設定しても、私たちの電気炉の二次電流は常に170 A以内に制限され、効果的に設備を保護した。電流制限機能を採用しているため、高温でストーブのドアを開けることができます。使用する電気炉では、昇温中に炉の昇温速度を制限する必要があります（例：1400℃後に

3℃/minなど）を超える場合は非限流トリガを採用する。昇温速度の設定ミスや昇温速度が速すぎると、電流が非常に大きく、機器がトリップしたり焼損したりします。

3、ソフト起動機能：起動時に電流が徐々に増加し、加熱素子への衝撃が小さく、加熱素子の寿命の延長に有利である

4、保護機能：電流が制限電流を超えると、トリガは自動的にトリガ機能を切断して電流保護炉を切断する。

1、変圧器ケーブルは純銅

2、変圧器の音が小さい

3、変圧器の温度が低い